空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或回风。气流非直线型运动而呈不规则之状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
洁净度100级(ISO4):
大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的尘粒数0。
洁净度1000级(ISO5):
大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L);大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/L)。
洁净度10000级(ISO6):
大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3(35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。
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