净化生产车间除了要具有高效的净化空气特点和功能外,还需考虑以下几点。气流分布要求很均匀洁净空调室为维持室内高洁净度,必须去除室内所产生的微尘粒子,因此对气流组织有严格的要求。另外恒温恒湿控制精度高由于电子产品的制造工艺对温、湿度变化极为敏感,所以恒温恒湿净化车间在洁净室工艺区域的空气参数须严格控制在极小的范内。
恒温恒湿净化车间洁净室空调冷负荷大但湿负荷很小,热湿比值接近无限大电子行业的洁净室一般都置于建筑物的中部,虽然通过围护结构的得热量较小,但洁净室内工艺设备的发热量相当大,即全年需要排除室内余热量。另外为了减少静电现象,空气不能太干燥,这就要求空调系统处理室内回风时不能是减湿过程。
新风量大,换气次数高在电子产品制造过程中需使用有毒的化学品,会产生有毒的废气,必须排出室外。为保持洁净室内正压和满足卫生条件,必须补充大量新风。为了保持高洁净度,洁净室应有较高的换气次数,同时室内的空气流速不能太大,一般在0.4m/s以下。
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