并将室内温度室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在的空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
⑴自净时间:是指无尘室按设计换气次数开始送风到无尘室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min(分钟,可取15min计算)10,000级希望不超过30min(分钟,可取25min计算)100,000级希望不超过40min(分钟,可取30min计算)
⑵换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5-55.3次/小时(规范:50次/小时)10,000级 23.8-28.6次/小时(规范:25次/小时)100,000级 14.4-19.2次/小时(规范:15次/小时)
净化车间 洁净车间 无尘车间